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真空機械手PHOENIX PLUS B系列

關鍵字導讀: PECVD PVD ETCH MEMS

描述:直驅電機結構,與PHOENIX B系列相比,將控制器集成到機械手本體之內,大大縮減了整體尺寸,IO處理模塊進行升級,具有先進的防碰撞保護功能。滿足個性化設計,支持用戶定制,手臂長度可選,可為客戶提供接口及末端定制服務。

簡介

Introduction

直驅電機結構具有更高的真空特性,內部結構沒有齒輪,皮帶等部件,系統運行的平穩性好,可靠性高。與PINUS B系列相比,將控制器集成到機械手本體之內,大大縮減了整體尺寸,并且縮短了互聯線纜長度,可靠性得以提升。IO處理模塊,可以根據用戶需求配置輸入輸出數量,有效電平可以切換,用戶可以根據需求將輸出輸入引腳配置成互鎖、傳感器檢測等功能。輸入信號支持硬件中斷功能,方便客戶配置AWC等位置鎖存功能應用。碰撞保護功能可以減少用戶誤操作導致的各種損失。以示教器作為人機交互媒介,方便調試人員使用??梢愿鶕蛻魬玫奶厥庖?,定制手臂尺寸、耐高溫耐腐蝕特性等。

參數

Parameter


參數:

本體重量Body Weight

50KG

適用晶圓尺寸Wafer Size

300mm/200mm/150mm/100mm

負載Payload

1KG

電源輸入Power Supply

24 V DC, ±5%

節拍Bear

10.5 s(Pick+Rotate180°+Place,與手指材料、傳輸位置相關)

動態偏差糾正精度(AWC)

±0.1mm

重復定位精度Repeatability

Z: ±0.05mm3σ)

T: ±0.006°(3σ)

R: ±0.05mm3σ)

漏率Leak rate

< 1 x 10-9 std. cc/sec He

真空度Base Pressure

5X10-9Torr

適用溫度

Applicable   temperature

法蘭:<120;本體:<50;手臂:<120

潔凈度Clean Class

ISO CLASS1

MCBF

>11million cycles

復合運動

Compound   motion

支持Support

PC遠程操作軟件

支持Support

通信接口Communications

Ethernet/串口serial interface

IO互鎖IO interlock

支持Support

安全區Safe area

支持Support

碰撞保護

Collision protection

支持Support


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