IC STOCKER

關鍵字導讀: FOUP STK MR

描述:FOUP STK,高潔凈度,電纜供電,低噪音,行走免潤滑,SEMI軟件接口,碰撞保護功能,MCBF50000次,Automatic teaching,設備可定制

簡介

Introduction

用于IC行業FOUP自動化搬送、存儲,實現晶圓在曝光、刻蝕等核心工藝之間流轉。優化結構及氣流流場設計,可使潔凈度達到ISO Class4等級要求;帶有豐富的安全設計和靈敏的碰撞保護功能,有效保護FOUP、晶圓、人身安全, 提高了產品的安全等級,減少不必要的損失;全新的系統運動邏輯規劃,提高產品搬送效率;標準的SEMI軟件接口,可以方便對接面板廠MCS系統,可實時上報系統各種狀態數據,實現工廠智能管理;可以根據客戶應用的特殊要求,定制設備功能及尺寸。


參數

Parameter

參數:

設備

IC Stocker

運動軸

行走 / 提升/ 旋轉/ 叉取

有效負載

10kg

控制

PLC+PC

電源供應

VAC   220V±10%

電機

伺服電機

行走

驅動

齒輪齒條+減速機+電機

速度

2.2m/s

提升

驅動

電機減速機+同步帶+帶輪

速度

1.75m/s

旋轉

驅動

電機+同步帶+減速機

速度

120°/sec

叉取

驅動

電機減速機+同步帶+帶輪

/下料時間

4.8s

叉取FOUP精度

±0.5mm


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